利用有限元方法中三維分析壓力傳感器受力特點:
三維有限元法中一般選擇四面體立體單元
,6個體積相等的四面體單元構(gòu)成一個立方體
。這樣不僅給壓力傳感器的硅杯網(wǎng)格劃分帶來方便,而且單元的自由度最少
,體積又相等
,給計算帶來許多方便。于是把連續(xù)的壓力傳感器彈性體離散成有限個數(shù)的四面體組合體
。將壓力傳感器的硅杯進行網(wǎng)格化
,每一六面體網(wǎng)格中又可包括若干個四面體單元。
對壓力傳感器來說
,一般由硅片用研磨法或腐蝕制成硅杯
。硅杯底構(gòu)成彈性膜。膜面上用集成電路工藝制備出力敏電阻器
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